高壓滅菌（fungus)器測試（TestMeasure)也叫高壓鍋測試，是惡劣(nasty)（liè）環(huán)境(environment)所用的器件通常都要求進(jìn)行的一種質(zhì)量(quality)測試。滅菌鍋又名蒸汽滅菌器，實(shí)驗(yàn)室用滅菌鍋可分為手提式高壓滅菌鍋和立式高壓滅菌鍋。利用電熱絲加熱水產(chǎn)生蒸汽，并能維持一定壓力的裝置。主要有一個(gè)可以密封的桶體，壓力表，排氣閥，安全閥，電熱絲等組成。滅菌鍋適用于醫(yī)療衛(wèi)生事業(yè)，科研，農(nóng)業(yè)等單位，對(duì)醫(yī)療器械，敷料，玻璃器皿，溶液培養(yǎng)基等進(jìn)行消毒滅菌，是理想的設(shè)備。手提式高壓滅菌鍋是食品廠、飲用水廠辦QS、HACCP認(rèn)證的**檢驗(yàn)設(shè)備. 直到**近，汽車安全(security)行業(yè)才開始提出高壓滅菌器測試要求，以檢驗(yàn)用于氣囊傳感器的 MEMS加速計(jì) [1]。為了進(jìn)行此測試，器件在環(huán)境試驗(yàn)(test)箱不帶電存儲(chǔ)96/168小時(shí)，環(huán)境試驗(yàn)箱的氣壓為15psi

　　G、溫度（temperature)為120oC，相對(duì)濕度(shī dù)為100%。滅菌鍋又名蒸汽滅菌器，實(shí)驗(yàn)室用滅菌鍋可分為手提式高壓滅菌鍋和立式高壓滅菌鍋。利用電熱絲加熱水產(chǎn)生蒸汽，并能維持一定壓力的裝置。主要有一個(gè)可以密封的桶體，壓力表，排氣閥，安全閥，電熱絲等組成。高壓滅菌器經(jīng)過一定的暴露時(shí)間后，器件在室溫(temperature)下重新測試（TestMeasure)。   盡管傳感器的傳感結(jié)構(gòu)在密封(seal)環(huán)境(environment)下封裝，以防止水分入侵（指以征服或虜掠為目的的竄犯)，但MEMS加速計(jì)仍要承受高壓滅菌壓力，因?yàn)樗芰希ńY(jié)構(gòu):合成樹脂、增塑劑、穩(wěn)定劑、色料)包裝材料(Material)可在過壓和過濕條件(tiáo jiàn)下吸收水分。要測試加速計(jì)對(duì)高壓滅菌器壓力的易感性，我們將80個(gè) MEMS加速計(jì)置于高壓滅菌器測試條件下。如圖1所示，加速計(jì)由MEMS傳感單元（g-cell）和控制ASIC組成，采用堆疊芯片(又稱微電路)結(jié)構(gòu)組裝在一個(gè)QFN 封裝中。傳感單元由飛思卡爾二聚表面(appearance)微流構(gòu)成，使用(use)玻璃材質(zhì)熔塊通過(tōng guò)晶片鍵合技術(shù)(technology)密封在密封腔里。    高壓滅菌器測試結(jié)果顯示(display)，25oC時(shí)，9個(gè)部件沒有辦法達(dá)到偏移標(biāo)準(zhǔn)，要求9位輸出的偏移變化少于+/- 26個(gè)計(jì)數(shù)。失效部件的**大偏移變化是-48/+39個(gè)計(jì)數(shù)。 當(dāng)部件進(jìn)行168小時(shí)測試時(shí)，發(fā)現(xiàn)了更多器件失效（與偏移變化的失效行為相同）。還發(fā)現(xiàn)這些部件在-40oC 和125oC下具有較小的偏移變化和較緊湊(terse)的分布。失效器件還顯示在空氣(Basin air)中暴露一段時(shí)間后，出現(xiàn)緩慢回歸規(guī)范的 ;自愈 ;行為。在正常(normal)大氣條件下進(jìn)行120℃焙燒，可以加速恢復(fù)過程。失效和恢復(fù)流程是可重復(fù)和可逆的。